我司自主研发的高纯电子气体有:六氟乙烷 C2F6、全氟丙烷 C3F8、八氟环丁烷 C4F8、三氟甲烷 CHF3、甲烷 CH4、四氟甲烷 CF4、六氟化硫 SF6、氮氧化合物 NO、氨气 NH3、二氧化碳CO2(5N)、一氧化碳CO、锗烷 GeH4、硒化氢 H2Se等气体已广泛应用于6寸,8寸,12寸半导体芯片,TFT-LCD,太阳能光伏,光纤制造,LED等行业。同时我司也经营SiH4、Cl2、D2、BCL3、HCl、NF3、WF6、N2O、PH3、AsH3、TMB、BF3、HBr、WF6混合气。 |